MUSASHINO ENG 초고진공용 탈가스 처리장치
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초고진공용 탈가스 처리장치
특징(예: 알루미늄 합금제의 경우)
- 완전 자동.
- 경량으로 기초 공사 불필요.
- SUS로 만든 1/3 무게.
- 소비 전력은 종래의 1/4.
- 냉각용 수냉 파이프 불필요.
- 전 알루미늄 합금제로 플랜지는 ICF 규격품.
- 내부 히터에 의해 내부는 700℃에서도 용기 온도는 40℃ 전후.
사양
| 공작물 최대 치수 | 325 W × 325 H × 250 D mm |
| 가열 온도 | MAX. 700° |
| 도달 진공도 | 2.6×10 -7 Pa(2×10 -9 Torr) |
| 주 배기 펌프 | 터보 분자 펌프 |
| 전원 | 단상 200V 30A |
| 히터 | 후면, 측면 2 계통 |
| 냉각 | 공냉 |
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