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전자 현미경 매니퓰레이터

개요

초고진공(10 ^-9 Pa) 환경하에 있어서 전자현미경으로 시료를 측정하는 경우의 시료 스테이지입니다.
열 대책, 진동 대책이 풀리고 외부 매니퓰레이터에서 X, Y, Z, θ (회전)의 이동을 실시하고 미조는 피에조 스테이지에 의해 실시합니다.

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