MUSASHINO ENG 초고진공용 스테이지
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MSG-60R MSG-60X MSG-60Z
초고진공용 스테이지
특징
- 고정밀도·고분해능
- 초고진공 대응(~10-7Pa)
- 완전 오일 프리
- 각 스테이지의 조합이 용이하고, 임의의 다축 스테이지 구축에 응용이 가능
- 표준화로 비용 절감
진공용 MI 케이블
특징
- 스테인레스 스틸 합금 코팅이며 저가스 방출입니다.
- 내방사선성이 우수하다.
- 증착 물질에 의한 절연 파괴가 없다.
- 유연성이 좋다.
- 고온 사용이 가능하다.
- 내약품성이 우수하다.
- 파티클이 미세하다.
- 원터치로 접속이 가능(옵션 전용 커넥터)
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