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세라믹 기판
세라믹 기판은 고정밀 사파이어 기판을 제조하는 경험을 세라믹 기판 제조로 전개한 반도체 공정에 최적인 세라믹 기판으로 제공하고 있습니다. 소재에 관계없이 탈립이 적고, 고평탄한 기판 표면이 되고 있습니다. 각종 소재에 공법으로 소재에의 데미지를 최대한 적게 가공하고 있습니다. 가공 후의 측정·세정에 관해서도 각종 대응시키고 받고 있으므로 상담해 주십시오. 또, 추가공(드릴・절단 등)의 희망에도 대응하므로 상담해 주십시오.
| 소재 | 다결정 SiC | ||
|---|---|---|---|
| 연마 | CMP | 기계식 | |
| 표면 거칠기 | Ra AFM | 0.45nm | 0.12nm |
| PV AFM | 5.75nm | 0.97nm | |
| 면 상태 | PV(SORI) ※FT | 1.73μm | 1.65μm |
※Flatness Tester
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