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수평 증착 장치
저항체의 단면, 수정 진동자의 전극 형성 등 소형 전자 부품의 생산에 최적입니다.
소형 챔버로 대량의 처리가 가능하여 기판의 양면 일괄 성막을 실시할 수 있습니다.
사양 (AAMH-C1075SB AAMH-C1080SB AAMH-C20130SB)
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